这时,梁宋松也半蹲了下来,目光一直盯着主体系统的接驳👈🔫机构。他想找出故障的原因,证明自己的🌕猜🗙想没有错。
“我们这台光刻机的接驳机构是测绘以后的仿制,没有原始图📇😲纸,精度没保障。所以说,就是个接驳机构出了问题。”仔细观察了半天,梁宋松果断🏜🚷🗽的下结论,认为⚍🐅还是光刻机主体系统出了故障。
他这套理论倒是有点道理,可跟两套系统组🂥合以后的质量缺陷有啥联系?
故此,🚥万宁古根本不同意梁宋松的意见,“激光光路系统和光刻🏦机主🗫🞧🖢体系统是刚性连接,跟这套接驳机构有啥关系?”
刚性连接只要保证连接机构的稳定就行,不会对两套机构的性能稳定性🟙造成影响。再说了,这套接驳机构使用液压锁定方式来确保稳定性,根本不会影响光刻机两🍁🅌套系统的稳定性。
万宁古🚥对光刻机的结构非常🍟熟悉,一下子就排除了梁宋松的论断。按照他的设想,众人不要在这套接驳机构的稳定🝌性上做深层挖掘。
这时,眉头紧锁的许振鸣稍稍一抬眉,瞥了一眼身旁的万宁古。“老万,光刻机的震动量、电磁杂波干扰等方面,会不会影响到光刻机⛝🛕🜑的稳定性?”
“嗯…肯定会有影响的📁🗹☸。要不然,光刻机的工作环境要求非常高,基础要有防震动🍨设施,现场电磁杂波要做屏蔽措施。”
万宁古皱着眉头说道,心里还在考虑着其他的影响因素。在他看来🌼🄟,这次检测要麻烦许多了,要把光刻机主体🆟系统的组件一一拆开,分开检查测试才行。
而这时,站在不远处的郝宁教授忽然一拍大腿,“我知🁫🈳道是什么原因了,应该是震动波的共振造成的,或者是电磁杂波频率跟激光🝡🌰波的频率有互相干扰♊。”
郝宁教授是光学专家,在光波学、电磁波学等专业领域是权威人士。他经过许振鸣🍨一提醒,瞬间来了灵感,说出一个让许振鸣感到高深莫测的观点。
光波和电磁波的粒子、波两种形态,许振鸣在自学高中物理的时候有所涉及,可已经早就忘得差不多。而郝宁🆟教授的观点又涉及到量子物理的理论,他♊哪能搞得懂?
不但许振鸣搞不懂,现场的万宁古和梁宋松两位专家级人物👈🔫也只能说略懂皮毛。🚞专家都在自己的领域里称雄,出了领域跟平常人的差距不是那么大的。
故此,万宁古激动的站起身来,盯着郝宁教授大声问道:“郝教授,你说说看,这台光刻机的缺陷到底是怎么回事?”
“有这种可能么?”梁宋松此🏦🜕时也半信半疑的站起身来,狐疑目光一直落在郝🅦🈲🂒宁教授的脸上。
郝宁教授此次此刻非常激动,连连点头,“一定是这个问💠📏题。还是许董🟙的眼光比较准,一下就能找到这台光刻机的缺陷所在。”一边说话,他一边拿出笔记本,把今天的灵感记录下来。⚢
做好这些,他朝📖众人大笑着说:“我们大家都⛣🜐🁓知道共振的原理。这台光刻机主体系统的震动波若是跟激光光路系统的震动波频率一致,就会产生共🄚振现象。倘若这台光刻机主体系统的电磁杂波频率跟激光的频率一致……”
“🆢👎激光也会产生共振现象!”这时,在场的所有人都异口同声的说道。